Νανοτεχνολογία

Το μάθημα της Νανοτεχνολογίας αποσκοπεί στην παρουσίαση και κατανόηση των κύριων λιθογραφικών τεχνικών και κατασκευαστικών μεθόδων των τεχνολογιών αιχμής της Μικροηλεκτρονικής και της Νανοηλεκτρονικής. Τα κύρια βήματα κατασκευής ηλεκτρονικών διατάξεων και αισθητήρων παρουσιάζονται με λεπτομερή σχεδιαγράμματα. Ιδιαίτερη έμφαση δίδεται στις κατασκευές ηλιακών κυττάρων και τρανζίστορς υψηλών συχνοτήτων.

Στόχοι Μαθήματος

Η εισαγωγή των φοιτητών στις σύγχρονες μεθόδους κατασκευής ηλεκτρονικών διατάξεων και αισθητήρων της Μικρο-ηλεκτρονικής και της Νανο-ηλεκτρονικής. Λεπτομερής αναφορά στις διεργασίες κατασκευής δημοφιλών ηλεκτρονικών διατάξεων όπως τα τρανζίστορς υψηλών συχνοτήτων και τα ηλιακά κύτταρα.

Προαπαιτούμενες Γνώσεις

Για την παρακολούθηση του μαθήματος απαιτείται η κατανόηση της ύλης των υποχρεωτικών μαθημάτων «Ηλεκτρικές, Μαγνητικές και Οπτικές Ιδιότητες των Υλικών» και «Ημιαγώγιμα και Διηλεκτρικά Υλικά» που διδάσκονται στους προπτυχιακούς φοιτητές του Τμήματος Μηχανικών Επιστήμης Υλικών του Πανεπιστημίου Ιωαννίνων στο τέταρτο και έβδομο εξάμηνο αντίστοιχα.

Περιεχόμενα

• Εισαγωγή στην Νανοτεχνολογία, Οπτική Λιθογραφία, Εναπόθεση μεταλλικών υμενίων –Lift off, Ισοτροπική και Ανισοτροπική Υγρή Χημική Εγχάραξη, Διαγράμματα Ροής Λιθογραφικών Επιπέδων Εναπόθεσης Μεταλλικού Υμενίου και Υγρής Χημικής Εγχάραξης, Μέθοδος των δομικών και θυσιαζόμενων υλικών, Κατασκευή Μικρογέφυρας, Κατασκευή MOSFET, Κατασκευή Τρανζίστορ με την μέθοδο της αυτο-ευθυγράμμισης, Κατασκευή Τ-πύλης τρανζίστορ με Λιθογραφία Δέσμης Ηλεκτρονίων, Κύρια Βήματα Κατασκευής Συμβατικών και Ημιδιαφανών Ηλιακών Κυττάρων, Κατασκευή EWT ηλιακών κυττάρων, Λιθογραφία Νανοεκτύπωσης, Transmission Line Model.